性能出色
的螺桿設計,鐘形懸臂結構,榮獲利的自平衡螺桿,出色的運行品質,集成羅茨泵,非常適用于 load lock 腔和傳送腔、計量、平版印刷術、物理氣相沉積以及快速熱退火等應用
高效
擁有成本低,維護少,保養間隔長,正常運行時間長,直接水冷卻
結構緊湊
密閉式設計,直聯的罐裝電機
TECHNICAL DATA | COBRA BC 0600 F |
---|---|
額定抽速 | 520 m3/h |
極限壓力 | 0.003 hPa (mbar) |
前級泵電機額定功率 | 1.5 kW |
羅茨真空泵電機額定功率 | 4.0 kW |
功耗(怠速模式) | 1.1 kW |
極限壓力時的功耗 | 2.1 kW |
前級泵電機額定轉速 | 3000 min?1 |
羅茨真空泵電機額定轉速 | 3000 min?1 |
噪聲級(ISO 2151) | 62 dB(A) |
耗水量 | 3.0 l/min |
氮氣消耗量 | 0 – 50 l/min |
重量(約) | 315 kg |
尺寸(L x W x H) | 933 x 354 x 694 mm |
進氣口 | DN 63 ISO–K |
排氣口 | DN 40 ISO–KF |
Busch電機7AA90S 04B14
Busch油分配器0531-000-002
Busch真空泵油過濾器0531000002
Busch.0524108652
Busch真空泵SV1008 C1000
Busch真空泵R5A0040E
Busch真空泵RA0016C
Busch真空泵SV1025 cooo
Busch真空泵R5-0063
Busch真空泵SV1025C
Busch泵RA0100F
Busch真空泵RA016D
Busch真空泵RA0302 D 561 CUXX NO.C1126000551
Busch真空泵R5-RA3020D 300m3/hr 7.5kw
Busch真空泵R50063F Ex
Busch泵SV1040CO0OINZZ
Busch真空泵RA0100 F 503 S/N:D15450588
Busch鼓風機SB 1400 D OHO UK XX
Busch泵R5 RA0160-0302 D
BUSCH油過濾器531000001